2017年MEMS高級培訓課程主要講授MEMS成熟器件和前沿器件的設計、制造、封測和應用知識，同時對MEMS制造工藝的特殊性、重點難點和解決方案進行深入的講解，最后還將帶領學員實地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術加工服務平臺。

主辦單位：中科院上海微系統(tǒng)所、麥姆斯咨詢

協(xié)辦單位：上海市物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)協(xié)會、新微創(chuàng)源孵化器、華強電子網(wǎng)、華強旗艦

一、課程設置

麥姆斯咨詢于2016年10月在無錫舉行了第一次MEMS高級培訓課程，報名非常火爆。為繼續(xù)為MEMS產(chǎn)業(yè)界相關人員提升專業(yè)技術能力，增強傳感器創(chuàng)新能力，我們在2016年培訓的基礎上對課程和師資進行了更優(yōu)化的選擇和設置，更加注重理論與實踐的結合，以期為學員帶來最大化的收獲。

2017年MEMS高級培訓課程主要講授MEMS成熟器件（如加速度計、MEMS麥克風、壓力傳感器、陀螺儀、紅外傳感器）和前沿器件（如微流控芯片、生物傳感器、電化學傳感器）的設計、制造、封測和應用知識，同時對MEMS制造工藝的特殊性、重點難點和解決方案進行深入的講解，最后還將帶領學員實地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術加工服務平臺。

二、培訓對象

主要面向高等院校學生和老師，MEMS設計、制造、封測及終端應用相關企業(yè)的初級和中級技術人員以及高級管理人員，也歡迎參加其它希望了解MEMS技術和產(chǎn)業(yè)的非MEMS背景人員。

三、培訓時間

2017年10月20日全天、10月21日全天和10月22日上午，共計2.5天。

本課程贈送上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術加工服務平臺實地參觀：時間：10月22日下午；地點：上海市宜山路800號。

日程安排：

10月19日下午15:00-17:00或10月20日上午8:00-8:25報到。

10月20日至10月22日期間的上課時間：

上午：8:30-12:00
下午：13:00-16:30

四、培訓地點

中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所：上海市長寧路865號

五、課程內容

課程一：傳統(tǒng)MEMS器件及應用

講師：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 李昕欣 研究室主任/研究員

本課程介紹MEMS壓力傳感器、MEMS麥克風和紅外熱電堆傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)關鍵技術和典型應用，重點講解李昕欣小組國際獨創(chuàng)“微創(chuàng)手術（MIS）”MEMS工藝。該項工藝可在半導體代工廠量產(chǎn)，與Bosch的APS工藝和意法半導體的VENSENS工藝同為相互競爭的第三代單芯片MEMS通用工藝。

課程目錄：
1. MEMS壓力傳感器的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用
2. MEMS麥克風的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用
3. 紅外熱電堆傳感器的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用

講師：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 楊恒 研究員

本課程介紹MEMS諧振器、陀螺儀、加速度計的產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)關鍵技術和典型應用，重點講解上海微系統(tǒng)所最新的MEMS技術成果。

課程目錄：
1. MEMS諧振器的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用
2. 陀螺儀的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用
3. 加速度計的設計、制造、封裝和測試，以及典型應用

課程二：前沿MEMS器件及其應用

講師：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 金慶輝 研究員

本課程主要針對一些前沿的生物和化學MEMS傳感器技術，以及典型應用進行講解，如生物傳感器、電化學傳感器、環(huán)境監(jiān)測和食品安全監(jiān)測物聯(lián)網(wǎng)等。

課程目錄：
1. 生物傳感器技術及典型應用
2. 電化學傳感器傳感器技術及典型應用
3. 環(huán)境監(jiān)測和食品安全檢測

講師：北京大學 陳兢 教授/博士生導師

本課程介紹不同基底的微流控芯片技術，以及典型應用，重點講解適合于低成本、大批量生產(chǎn)的微流控制造技術。

課程目錄：
1. 微流控技術概述
2. 微流控芯片常用材料及加工方法
3. 微流控與POCT

課程三：MEMS制造工藝

講師：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 馮飛 研究員

本課程概述CMOS制造工藝，重點講解MEMS制造工藝，其中MEMS制造工藝包括體微加工技術、表面微加工技術和CMOS MEMS技術，以及全球主要MEMS代工廠和中國科研機構MEMS工藝線。

課程目錄：
1. CMOS制造工藝
2. MEMS制造工藝
3. 全球主要MEMS代工廠
4. 中國科研機構MEMS工藝線
5. 上海微系統(tǒng)所工藝能力介紹

講師：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 戈肖鴻 高級工程師

本課程帶領學員實地參觀上海微系統(tǒng)所的微系統(tǒng)技術加工服務平臺。該平臺由微系統(tǒng)加工平臺和微系統(tǒng)封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內主樓的一層和二層凈化間內。整個平臺擁有114臺套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術保障。

　　6、培訓費用和報名方式咨詢

請按照以下聯(lián)系方式發(fā)送電子郵件給我們，郵件題目格式為：報名+MEMS高級培訓課程+單位名稱+人數(shù)。

麥姆斯咨詢
聯(lián)系人一：吳越
電 話：15190305084
E-mail：WuYue@MEMSConsulting.com

麥姆斯咨詢
聯(lián)系人二：郭蕾
電 話：13914101112
E-mail：GuoLei@MEMSConsulting.com