雖然臺積電號稱自己很快將進入7nm工藝,甚至連5nm和3nm的工藝都已經(jīng)在設(shè)計驗證了,但是凡事還是要擺事實講道理。作為半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)頭羊的三星和Intel均表示,7nm的阻礙前所未有的大,所需要的EUV(極紫外光刻)光刻機商用問題十分嚴重。
昨天除了大家熟悉的GDC Nvidia大會,還有一場面向?qū)I(yè)人員的國際光電工程學(xué)會(SPIE)年度會議,在會議上,包括Intel和三星的頂尖專家均表示目前EUV技術(shù)推進速度十分地緩慢。
這兩家行業(yè)巨頭,三星表示去年生產(chǎn)的首款EUV光罩目前已經(jīng)趨近完美,而Intel早在1992年就開始研究起EUV,終于在去年成功投入生產(chǎn)并商用,不過Intel同樣表示EUV技術(shù)還沒有完全成熟,自己仍在研究。
作為光刻機的霸主,荷蘭ASML公司的NXE 3350B成為了未來EUV技術(shù)的主力,據(jù)悉一臺光刻機的售價達到了6億人民幣,比F35戰(zhàn)斗機還貴。
但是ASML的專家卻稱,目前NXE 3350B的問題還是頗多,即使能夠正常運行超過75%的時間,但是EUV光罩問題還是讓商用難以成為現(xiàn)實??礃幼硬皇荌ntel不想進步,的確半導(dǎo)體行業(yè)需要一個革命性的改變了。